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深入解读SiC MOSFET栅极开关不稳定性(GSI)

06/13 09:25
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作者简介:赵佳 ,碳化硅专家里最会写的,不间断传递硬核技术

在关于碳化硅(SiCMOSFET栅极不稳定性的研究中,除了上期介绍的的 DC BTI,还有一种碳化硅专属的退化机制—— 栅极开关不稳定性(GSI),它在高频开关的实际应用中引发的参数漂移,远超传统 DC BTI 测试的结果,成为影响 SiC 器件长期稳定运行的关键问题。而英飞凌不仅是最早发现并命名 GSI 的企业,更通过深度研究、结构创新和工艺优化,实现了对 GSI 的极致控制,让 CoolSiC™ MOSFET 在阈值电压导通电阻漂移上处于行业领先水平,为实际应用筑牢可靠性根基。

01、什么是GSI ?

与硅基 MOSFET 不同,SiC MOSFET 在栅极高频切换的工作条件下,会出现一种特殊的性能退化现象,英飞凌将其命名为栅极开关不稳定性(GSI),触发这种退化的应力模式则被称为栅极开关应力(GSS),业内也常称其为 AC BTI、DGS 等。

简单来说,GSI 的核心表现是:器件阈值电压会随着累积开关循环次数的增加持续升高,这种漂移是 SiC 器件独有的,且在高频开关场景中尤为显著;而硅基器件的可靠性研究中,仅需关注 DC BTI 即可,这也是 SiC 与硅技术在栅极偏置应力影响上的本质区别。

更关键的是,GSI 引发的阈值电压漂移,远大于传统 DC BTI 测试得到的数值,如果忽视这一特性,直接将硅器件的可靠性经验套用到 SiC 器件上,会严重低估实际应用中的参数漂移风险,进而影响系统的长期稳定性。

02、GSI 的连锁影响:从阈值电压漂移到导通损耗上升

阈值电压是 SiC MOSFET 的核心参数,GSI 引发的阈值电压升高,会通过 “牵一发而动全身” 的连锁反应,影响器件的多项性能,最终体现在损耗增加、结温上升上,其影响路径清晰且直接:

1、过驱动电压减小,沟道电阻上升

阈值电压(VGS (th))升高,会让栅极高电平(VH)与阈值电压的差值 —— 过驱动电压大幅减小,而沟道电阻与过驱动电压成反比,直接导致沟道电阻显著上升;

2、总导通电阻增加,静态损耗上升

SiC MOSFET 的总导通电阻由沟道电阻、JFET 区电阻、漂移区电阻等组成,沟道电阻的上升会直接推高总导通电阻,当导通电阻增加超过 15% 时,器件的静态损耗会大幅上升,进而导致工作结温小幅提升;

3、开关损耗此消彼长,导通损耗占主导

值得注意的是,阈值电压升高会加快器件关断速度,让关断损耗略有降低,但导通损耗的增加幅度远大于关断损耗的降低幅度(导通损耗通常是关断损耗的数倍),最终导致器件总损耗上升。

不过 GSI 的影响程度并非固定,它取决于应用场景中静态损耗与开关损耗的比值:如果开关损耗占主导(如部分高频场景),GSI 的影响会相对较小;若静态损耗占比高,GSI 引发的损耗增加则会成为关键问题。

03、GSI 漂移的核心依赖参数

英飞凌通过大量实验研究发现,GSI 引发的阈值电压漂移,并非由单一因素决定,而是与开关频率、栅极偏置电平、温度、栅压转换时间,甚至栅压过冲 / 欠冲等多个参数密切相关,且不同参数的影响规律各有不同,这也让 GSI 的控制难度远高于 DC BTI。

1、开关频率:仅与累积开关次数相关,高频场景影响更显著

GSI 引发的总阈值电压漂移,由BTI 分量和GSI 分量叠加而成,两者的影响规律截然不同:

BTI 分量:与累积应力时间相关,和开关频率无关;

GSI 分量:与累积开关循环次数直接相关,是由开关事件本身触发的,且在总漂移中占主导地位。

这意味着,开关频率越高,相同时间内的开关次数越多,GSI 漂移就越明显 —— 比如光伏逆变器这类高频应用,GSI 的影响会更突出;而汽车驱动系统等低开关频率场景,GSI 的影响则相对较小。

2、栅极偏置电平:VH 越高 / VL 越低,漂移越大,存在饱和效应

GSI 对栅极高电平(VH)和低电平(VL)的依赖,与 DC BTI 有本质区别,核心规律是:

固定 VL 时,VH 越高,阈值电压漂移幅度越大;

固定 VH 时,VL 越低,阈值电压漂移幅度越大;

当 VH 升高到一定程度时,漂移会出现饱和效应,甚至可能出现反向漂移。

但有趣的是,更高的 VH 并非一定更危险:虽然漂移幅度会增大,但更高的 VH 会带来更强的过驱动电压,让总导通电阻对阈值电压变化的敏感度降低,最终导通电阻的相对变化反而更小。因此 SiC 器件在 18V 导通电压下工作,会比 15V 更稳定、更可靠。

3、温度:漂移随温度升高而增大,却由 BTI 分量主导

和 DC BTI 类似,温度越高,GSI 引发的总阈值电压漂移也越大,但这一变化并非由 GSI 本身导致:GSI 分量基本与温度无关,而 BTI 分量会随温度升高显著增大,最终表现为总漂移的上升。

同时,高温下 SiC 器件的 JFET 区和漂移区电阻会成为总导通电阻的主导,沟道电阻的占比大幅下降,因此即便阈值电压漂移更大,导通电阻的相对变化也会更小,一定程度上抵消了温度带来的漂移影响。

4、其他关键参数:dVgs/dt、过冲 / 欠冲影响显著

除了上述核心参数,栅压的转换时间、过冲 / 欠冲,也会对 GSI 漂移产生重要影响,且这些细节往往被忽视:

栅压dVgs/dt:漂移程度与栅压上升时间密切相关(不同技术可能对下降时间有依赖),上升时间越短,漂移可能越明显;

栅压过冲 / 欠冲:哪怕是极短时间的欠冲 / 过冲,都会引发显著的漂移,比如 VL 阶段短暂出现 - 10V 的欠冲,其漂移效果几乎等同于整个 VL 阶段都保持 - 10V,而无欠冲的器件漂移会大幅降低;

占空比:GSI 漂移与占空比无关,仅由开关次数决定。

5、漂移饱和:长期测试才会显现,短期模型易高估风险

英飞凌通过接近一年的长期应力测试发现,随着开关循环次数的持续增加,GSI 引发的阈值电压漂移会逐渐趋于饱和—— 不仅在高 VH、低 VL 条件下,适中电压条件下也会出现这一特性。

而市面上多数仅基于短期测试数据的模型,往往会高估实际应用中的漂移幅度,英飞凌的长期测试则让漂移预测更贴合实际,避免了过度设计带来的成本浪费。

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04、GSI的测试标准

基于在 GSI 领域的深厚技术积累,英飞凌推动 JEDEC 发布了针对 GSI 的专属可靠性指南,并将 GSI 测试新增到自身的标准认证流程中,让 SiC 器件的可靠性测试不再局限于传统的 DC BTI,而是全面覆盖实际应用中的高频开关场景,测试标准更贴合实际。JEP195指出,在GSS测试中,应将器件置于数据手册可允许的最恶劣环境中,如以最高允许栅电压进行开关以及使用最高结温。因为GSI与开关周次相关,高开关频率可加速老化,可以使用尽可能高的开关频率以缩短测试时间,典型开关频率500kHz/1000hr。

05、GSI的评价标准:可预测的Rdson漂移是关键

GSI虽然会引起阈值电压上升,但阈值电压上升本身并不是一坏事。由阈值电压上升会引起导通电阻上升,进而增大器件损耗。这才是应用中值得注意的事。为了精准预测不同应用场景下的 GSI 漂移,英飞凌开发了详细的GSI 经验模型,能全面捕捉开关频率、栅极偏置、温度、转换时间等多参数对漂移的影响,可根据客户的实际应用条件,精准计算阈值电压和导通电阻的漂移幅度,为客户的栅极驱动设计、裕量预留提供明确指导。AN2018-09 中,英飞凌对于不同电压等级的 SiC MOSFET,都详细给出了在不同正压下,导通电阻RDS(on)随开关周次变化的曲线。以1200V器件为例,在典型的光伏逆变器工况下,20年后RDS(on)漂移小于5%,对应用的影响非常轻微。

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不仅如此,英飞凌还在该应用笔记中为客户提供推荐的栅极驱动电压与频率,并指导客户评估和抑制应用中的栅压过冲、欠冲,从器件设计到应用落地,全方位帮助客户规避 GSI 带来的潜在风险。

06、英飞凌性能领跑:为客户规避损耗风险

过工艺优化和设计改进,英飞凌旗下 CoolSiC™ MOSFET 在 GSI 引发的漂移上表现出色:在对比测试中,英飞凌阈值电压漂移位于极低水平,而导通损耗的增加幅度进一步下降。这是因为英飞凌沟槽栅结构沟道电阻在总电阻中占比远小于平面栅,阈值漂移对总电阻影响就微乎其微。

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总结

英飞凌从最早发现 GSI,到推动行业标准制定,再到开发精准模型、实现工艺优化,让旗下 CoolSiC™ MOSFET 在实际应用的高频开关场景中,保持极低的参数漂移和优异的长期稳定性。

对于整个 SiC 产业而言,GSI 现象或许无法彻底消除,但却能够通过工艺和结构的优化使GSI对应用的影响最小化和可预测。而英飞凌在这一过程中的技术积累和行业引领,也让其成为 SiC 可靠性领域的标杆。

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英飞凌科技公司于1999年4月1日在德国慕尼黑正式成立,是全球领先的半导体公司之一。其前身是西门子集团的半导体部门,于1999年独立,2000年上市。其中文名称为亿恒科技,2002年后更名为英飞凌科技。总部位于德国Neubiberg的英飞凌科技股份公司,为现代社会的三大科技挑战领域--高能效、移动性和安全性提供半导体和系统解决方案。 英飞凌专注于迎接现代社会的三大科技挑战: 高能效、 移动性和 安全性,为汽车和工业功率器件、芯片卡和安全应用提供半导体和系统解决方案。英飞凌的产品素以高可靠性、卓越质量和创新性著称,并在模拟和混合信号、射频、功率以及嵌入式控制装置领域掌握尖端技术。英飞凌的业务遍及全球,在美国加州苗必达、亚太地区的新加坡和日本东京等地拥有分支机构。

英飞凌科技公司于1999年4月1日在德国慕尼黑正式成立,是全球领先的半导体公司之一。其前身是西门子集团的半导体部门,于1999年独立,2000年上市。其中文名称为亿恒科技,2002年后更名为英飞凌科技。总部位于德国Neubiberg的英飞凌科技股份公司,为现代社会的三大科技挑战领域--高能效、移动性和安全性提供半导体和系统解决方案。 英飞凌专注于迎接现代社会的三大科技挑战: 高能效、 移动性和 安全性,为汽车和工业功率器件、芯片卡和安全应用提供半导体和系统解决方案。英飞凌的产品素以高可靠性、卓越质量和创新性著称,并在模拟和混合信号、射频、功率以及嵌入式控制装置领域掌握尖端技术。英飞凌的业务遍及全球,在美国加州苗必达、亚太地区的新加坡和日本东京等地拥有分支机构。收起

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英飞凌科技股份公司是全球功率系统和物联网领域的半导体领导者。英飞凌以其产品和解决方案推动低碳化和数字化进程。该公司在全球拥有约58,600名员工,在2023财年(截至9月30日)的营收约为163亿欧元。英飞凌在法兰克福证券交易所上市(股票代码:IFX),在美国的OTCQX国际场外交易市场上市(股票代码:IFNNY)。 更多信息,请访问www.infineon.com